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鄭 州 恒 通 爐 業 有 限 公 司 
ZHENGZHOU HENGTONG FURNACE CO LTD
產品屬性

多通道質子流量計控製係統

多(duo)通(tong)道(dao)質(zhi)子流量(liang)計控製(zhi)係(xi)統(tong)適用(yong)於低(di)壓小流(liu)量,多種氣(qi)體單一(yi)/混(hun)合連續供氣係統。尤(you)其方(fang)便多種(zhong)氣體的切(qie)換使(shi)用,而(er)不(bu)會(hui)造(zao)成大(da)氣進入加熱管(guan)。氣體(ti)壓(ya)力和流量數(shu)據在同(tong)一平麵(mian)直(zhi)觀可讀,外(wai)形美(mei)觀、實用,操作簡便。

鄭州香蕉视频app苹果下载爐業有限公司
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產品介紹

多通道質子(zi)流量計(ji)控(kong)製係統是一款低成本多路質量流量計控製係統,其質量流量計和不鏽鋼(gang)混氣罐都(dou)安(an)裝(zhuang)在一個移動(dong)櫃裏(li),移動櫃(gui)最大可(ke)以(yi)承(cheng)重,與本(ben)公(gong)司(si)大多數管式(shi)爐配(pei)套使用時(shi),可將管式爐置於移動櫃上以節(jie)約空間(jian)。各通道氣路的流量設(she)定(ding)和(he)狀(zhuang)態(tai)顯示(shi)都集(ji)中(zhong)在(zai)一觸摸(mo)屏上(shang),便與操(cao)控的同時,可實(shi)時查(cha)看(kan)氣體流量曲(qu)線和數據(ju)。此款(kuan)設備(bei)廣(guang)泛(fan)的用於材(cai)料界中或(huo)實驗(yan)和各種材料(liao)的(de)退火(huo)實驗。

 

多通道質子流量計控製係統適用於(yu)低壓小(xiao)流量,多種氣體單一混合(he)連(lian)續(xu)供氣係統。尤其方便多種氣體的切換(huan)使用,而不會造成(cheng)大氣進入(ru)加(jia)熱管。

氣體壓力和流量數據在同一平麵直觀可讀(du),外形美觀、實用,操作(zuo)簡(jian)便。

采用觸(chu)摸屏來(lai)控製氣體的流量,顯示流量準確,方便(bian)操作。

所有儀表(biao)及(ji)閥門的連接均(jun)采(cai)用活(huo)接(jie)頭連接,便於維(wei)修拆(chai)卸。

 

觸摸屏(ping)

各通道的氣路(lu)設定和查看都集中在一的觸摸屏上

通訊接口和控溫(wen)軟(ruan)件(jian)可以連接到電(dian)腦(nao)上,進行遠(yuan)程控製,(可選)

機械壓力表

有(you)一機械壓力(li)表安裝於前(qian)麵板上,與混氣罐相連接

量程(cheng)

通氣管道

內(nei)部(bu)連接管道為”不鏽(xiu)鋼管

外部通氣管道為”聚(ju)四(si)氟管

混氣罐(guan)

Φ

截(jie)止閥及配件

不鏽鋼針(zhen)閥

Φ”不鏽鋼管

 

氣體從(cong)鋼瓶出來,經過減(jian)壓閥減壓,通過(guo)四氟管到供氣係統的入口,再經過質子流量計控製氣體流量,然(ran)後(hou)經(jing)過混氣罐,再進(jin)入爐子進氣口,氣體從出(chu)氣管出來,經過三通閥門,一端(duan)連接真空泵(beng),一端連接出氣口(kou)。

混氣罐上接有壓力表,壓力表顯數盤(pan)與質子流量計安裝在同一麵板(ban)上。

每一條(tiao)氣體管路均有一個高(gao)壓截止(zhi)閥(fa),安全(quan)有保(bao)證(zheng)。

該(gai)氣路采用高精(jing)度(du)氣體浮子流量計,氣路內部全采用四氟(fu)管,耐(nai)腐(fu)蝕性好(hao)。

所有接頭(tou)采用卡(ka)套連接,氣密性好,耐壓高。

產品(pin)名稱(cheng)

四路質子氣體流量計

流量計類(lei)型(xing)

質子流量計

流量計管芯(xin)

304不鏽鋼

調節閥類型

電磁調節閥

管道常(chang)態

常閉(bi)

流量計外殼(ke)

黑色(se)鋁殼

氣體種類

4

接口尺寸

1/4"

測(ce)量精度

±1.0%F.S

線性(xing)度

±0.5%F.S

重複(fu)精度

±0.2%F.S

壓力範圍(wei)

-0.1-0.15 MPa

A路氣體測量範圍

0~100SCCM

B路氣體測量範(fan)圍

0~200SCCM

C路氣體測量範圍

0~500SCCM

流量控製範圍

2%~100%

零(ling)點(dian)溫漂(piao)

0.6F.S(15~35℃)

響(xiang)應時間

2S

工作環(huan)境(jing)溫度

(15~50℃)

精度保證溫度

(15~35℃)

供(gong)電電源

220V 50Hz

外形尺(chi)寸

L800×W600×H580

設備重量

63kg

多通道質子流量計控製供氣係統內部壓力不能(neng)過大,不然容(rong)易造成漏(lou)氣,隻要(yao)氣體能正常流出來即可。質量流量計技(ji)術(shu)參(can)數:質子流量控製器普(pu)通型,模(mo)擬(ni)電路,橡(xiang)膠密封,管狀分(fen)流,不易(yi)堵(du)塞(sai)。

 

多通道質子流量計控製供氣係統的配置(zhi):

質子流量計:個(ge)

壓力表:

截止閥門:

穿(chuan)板接頭:

閥門接頭:

鋼瓶(ping)接頭

聚四氟乙(yi)烯(xi)管:

混氣罐:

爐架(jia):台(tai)

 

多通道質子流量計控製係統應(ying)用範圍: 
1.用於半(ban)導體製造行業中氣體流量控製 
2.用於各(ge)種真(zhen)空(kong)鍍(du)膜設備 
3.用於材料表麵處(chu)理 
4.用於氣體燃燒(shao)控製 
5.用於混和配氣係統 
6.用於泄(xie)漏探測係統 
7.用於環境檢(jian)測與(yu)分析設備 
8.用於分析(xi)儀(yi)器(qi)的氣體流量計量與控製 
9.用於化工、石(shi)化、冶金(jin)、光(guang)纖(xian)熔(rong)煉(lian)等需(xu)要氣體檢測和控製的場(chang)所 

 

多通道質子流量計控製係統常用尺寸(cun)規(gui)格參數:

產品

二通道

三(san)通道

四通道

五(wu)通道

工作溫度

5-45

5-45

5-45

5-45

最大壓力

3*10^6 Pa

3*10^6 Pa

3*10^6 Pa

3*10^6 Pa

精度

±1.5% FS

±1.5% FS

±1.5% FS

±1.5% FS

重複精度

±0.2%FS

±0.2%FS

±0.2%FS

±0.2%FS

流量範圍

一路:1~199 SCCM

二(er)路:1~199 SCCM

一路:0~100 SCCM

二路:1~199 SCCM

三路:1~499 SCCM

一路:0~100 SCCM

二路:1~199 SCCM

三路:1~199 SCCM

四路:1~499 SCCM

一路:0~100 SCCM

二路:1~199 SCCM

三路:1~199 SCCM

四路:1~499 SCCM

注(zhu)意(yi)

其(qi)他流量範圍的可定製(0~100 、1~200 、1~500 、1~1000 、1~2000   、1~5000 SCCM),需額(e)外費用

五-九路可按(an)照(zhao)客戶要求(qiu)定製


多通道質子流量計控製係統是(shi)一款低成本多路質量流量計控製係統,其質量流量計和不鏽鋼混氣罐都安裝在一個移動櫃裏,移(yi)動櫃最大可以承重(zhong),與本公司大多數管式爐配套使用時,可將(jiang)管式爐(lu)置於移動櫃上以節約(yue)空間。各通道氣路的流量設定和狀態顯(xian)示都集中在一觸摸屏上,便與操控的同時,可實時查看氣體流量曲線(xian)和數據。此(ci)款設備廣泛的用於材料界(jie)中實驗和各種材料的退(tui)火實驗。

 

多通道質子流量計控製係統適用於低壓小流量,多種氣體單(dan)一混合連續供氣係統。尤其方便多種氣體的切換使用,而不會造成大氣進入加熱(re)管。

氣體壓力和流量數據在同一平(ping)麵直觀可讀,外形(xing)美觀(guan)、實用,操作簡便。

采用觸摸屏來控製氣體的流量,顯示流量準確(que),方便操作。

所(suo)有儀表及閥門的連接均采用活接頭連接,便於維修(xiu)拆卸。

 

觸摸屏

各通道的氣路設定和查看都集中在一的觸摸屏上

通訊接口和控溫軟件可以連接到(dao)電腦上,進行(xing)遠程控製,(可選)

機(ji)械壓力表

有一機械(xie)壓力表安裝於前麵板上,與混氣罐相(xiang)連接

量程

通氣管道

內部連接管道為”不鏽鋼管

外部通氣管道為(wei)”聚四氟管

混氣罐

Φ

截止閥及配件

不鏽鋼針閥

Φ”不鏽鋼管

 

氣體從鋼瓶出來,經過減壓閥減壓,通過四氟管到供氣係統的入口,再(zai)經過質子流量計控製氣體流量,然後經過混氣罐,再進入爐子進氣口,氣體從出氣管出來,經過三通閥門,一端連接真空泵,一端連接出氣口。

混氣罐上接有壓力表,壓力表顯數盤與質子流量計安裝在同一麵板上。

每一條氣體管路均有一個高壓截止閥,安全有保證。

該氣路采用高精度氣體浮子流量計,氣路內部全采用四氟管,耐腐蝕(shi)性好。

所有接頭采用卡套連接,氣密(mi)性好,耐壓高。

產品名(ming)稱

四路質子氣體流量計

流量計類型

質子流量計

流量計管芯

304不鏽鋼

調節閥類型

電磁(ci)調(diao)節閥

管道常態

常閉

流量計外殼

黑(hei)色鋁(lv)殼

氣體種類

4

接口尺寸

1/4"

測量精度

±1.0%F.S

線性度

±0.5%F.S

重複精度

±0.2%F.S

壓力範圍

-0.1-0.15 MPa

A路氣體測量範圍

0~100SCCM

B路氣體測量範圍

0~200SCCM

C路氣體測量範圍

0~500SCCM

流量控製範圍

2%~100%

零點溫漂

0.6F.S(15~35℃)

響應時間

2S

工(gong)作環境溫度

(15~50℃)

精度保證溫度

(15~35℃)

供電電源(yuan)

220V 50Hz

外形尺寸

L800×W600×H580

設備重量

63kg

多通道質子流量計控製供氣係統內部壓力不能過大,不然容易造成漏氣,隻要氣體能正(zheng)常流出來即(ji)可。質量流量計技術參數:質子流量控製器普通型,模擬電路,橡膠(jiao)密封(feng),管狀分流,不易堵塞。

 

多通道質子流量計控製供氣係統的配置:

質子流量計:

壓力表:

截止閥門(men):

穿板接頭:

閥門接頭:

鋼瓶接頭

聚四氟乙烯管:

混氣罐:

爐架:

 

多通道質子流量計控製係統應用範圍: 
1.用於半導(dao)體製造行業(ye)中氣體流量控製 
2.用於各種真空鍍膜(mo)設備 
3.用於材料表麵處理(li) 
4.用於氣體燃(ran)燒控製 
5.用於混和配氣係統 
6.用於泄漏探測係統 
7.用於環境檢測與分析設備 
8.用於分析儀器的氣體流量計量與控製 
9.用於化(hua)工、石化、冶金、光纖熔煉等(deng)需要氣體檢測和控製的場所 

 

多通道質子流量計控製係統常用尺寸規格(ge)參數:

產(chan)品

二通道

三通道

四通道

五通道

工作溫度

5-45

5-45

5-45

5-45

最(zui)大壓力

3*10^6 Pa

3*10^6 Pa

3*10^6 Pa

3*10^6 Pa

精度

±1.5% FS

±1.5% FS

±1.5% FS

±1.5% FS

重複精度

±0.2%FS

±0.2%FS

±0.2%FS

±0.2%FS

流量範圍

一路:1~199 SCCM

二路:1~199 SCCM

一路:0~100 SCCM

二路:1~199 SCCM

三路:1~499 SCCM

一路:0~100 SCCM

二路:1~199 SCCM

三路:1~199 SCCM

四路:1~499 SCCM

一路:0~100 SCCM

二路:1~199 SCCM

三路:1~199 SCCM

四路:1~499 SCCM

注意

其他(ta)流量範圍的可定製(0~100 、1~200 、1~500 、1~1000 、1~2000   、1~5000 SCCM),需額外費(fei)用

五-九(jiu)路可按照客戶(hu)要求定製


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