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鄭 州 恒 通 爐 業 有 限 公 司 
ZHENGZHOU HENGTONG FURNACE CO LTD
產品屬性

垂直立式真空管式爐PECVD係統

鄭州香蕉视频app苹果下载爐業有限公司
聯係方式: 18037791502
官方微博: 香蕉视频app苹果下载爐業有限公司
地址: 河南省鄭州市高新技術產業開發區冬青街道26號
產品介紹

化(hua)學氣(qi)相(xiang)沉(chen)積係統為了使化學反(fan)應(ying)能(neng)在較(jiao)低的溫(wen)度(du)下進行,利用了(le)等(deng)離子體(ti)的(de)活(huo)性來(lai)促(cu)進反應,因而(er)這種稱為等離(li)子(zi)體增強(qiang)化學氣相沉積(ji)法(),內爐(lu)膛(tang)表麵塗(tu)有(you)美國(guo)進口的高(gao)溫氧(yang)化鋁(lv)塗層(ceng)可以提高設(she)備(bei)的加熱效(xiao)率,同時(shi)也(ye)可以(yi)延長(zhang)儀(yi)器(qi)的使(shi)用壽命。多路(lu)混氣真(zhen)空管(guan)式(shi)爐係統廣泛(fan)應用於沉積高質量薄(bao)膜(mo)、薄膜、金(jin)剛石薄膜、硬(ying)質(zhi)薄膜、光學(xue)薄膜和炭(tan)納米管()等

 

混氣真空管式爐係(xi)統是(shi)為了使化學反應能在(zai)較低的溫度下進(jin)行,利(li)用了等離子體的活性來促進反應,環(huan)境(jing)溫度在℃,但(dan)反應氣體在輝(hui)光放(fang)電等離子體中能受激分解、離解和(he)離化,從(cong)而大(da)大提(ti)高了反應物(wu)的活性(xing),這(zhe)些具(ju)有反應活性的中(zhong)性物質很(hen)容(rong)易(yi)被(bei)吸(xi)附(fu)到較次(ci)溫度的基(ji)本表麵(mian)上,發生非平衡(heng)的化學反應沉積生(sheng)成(cheng)薄膜,因此這種稱為(wei)等離子體增(zeng)強化學氣相沉積法()。

 

多(duo)路混(hun)氣真空(kong)管式爐係統,由單溫區(qu)管式爐、真空係統、質子流量(liang)計(ji)、射頻(pin)電源係統係統組(zu)成。

 

真空管式爐係統可在片(pian)狀或類(lei)似(shi)形狀(zhuang)樣(yang)品(pin)表麵沉積、非晶(jing)矽、微晶矽、納(na)米矽(xi)、、類金剛(gang)石等多種(zhong)薄膜,並可沉積型(xing)、型摻(can)雜(za)薄膜。沉積的薄膜具有良(liang)好(hao)的均勻性、致(zhi)密性、粘附性、絕緣性。化學氣相沉積係統廣(guang)泛應用(yong)於刀(dao)具、高精(jing)模(mo)具、硬質塗層、高端(duan)裝(zhuang)飾等領域(yu)。

 

 

路質子混氣管式爐係統(tong)

爐管尺(chi)寸(cun)

直徑

加(jia)熱區長度

更(geng)多規(gui)格(ge)可按(an)照客(ke)戶要(yao)求(qiu)定製

正常(chang)工作(zuo)溫度

最(zui)高工作溫度

加熱元(yuan)件

摻鉬合(he)金加熱(re)絲(si)

爐膛材(cai)質

采(cai)用日(ri)本進口(kou)爐膛材料,不掉粉、材料保(bao)溫性能好、反射(she)率高、溫場(chang)均衡,抗熱漲冷(leng)縮(suo)能力(li)強

控溫方式

智(zhi)能化段可(ke)編程(cheng)控製(用戶(hu)可選(xuan)配(pei)液(ye)晶觸摸(mo)屏(ping)顯(xian)示(shi))

真空係統

高真空分(fen)子泵(beng)組,高真空複(fu)合真空計

前(qian)級(ji)泵升每秒(miao),分子泵升(sheng)每(mei)秒

采用係列波紋管和真空擋(dang)板(ban)閥(fa)連(lian)接

質子流量計

高精度質量流量計可準確的控製氣體流(liu)量

氣體流量範圍為SCCm誤(wu)差(cha)為

出氣真空壓(ya)力表,內(nei)置(zhi)氣體混氣係統,

不(bu)鏽鋼針(zhen)閥計管道(dao),標準雙卡套接(jie)頭(tou)

射頻電源係統

輸(shu)出功率(lv)

最大可調±

頻率

,穩定性±

噪(zao)聲

冷卻

風(feng)冷

輸入(ru)功率

1KW  AC 220V

提供相關配件(jian)

氣煉(lian)石英爐管、真空法蘭(lan)、高溫手(shou)套、坩(gan)堝(guo)鉤(gou)、熱電(dian)偶(ou)、防燙罩(zhao)、剛玉(yu)坩堝、爐塞

電氣認證(zheng)

認證

售後服(fu)務

個月質保、終(zhong)身(shen)保修

 


化學氣相沉積係統為了使化學反應能在較低(di)的溫度下進行,利用了等離子體的活性來促進反應,因而這種稱(cheng)為等離子體增強化學氣相沉積法(),內爐膛表麵塗有美國進口的高溫氧化鋁塗層可以提高設備的加熱效率,同(tong)時也可以延(yan)長儀器的使用壽命。多路混氣真空管式爐係統廣泛應用於(yu)沉積高質量薄膜、薄膜、金剛石(shi)薄膜、硬質薄膜、光學薄膜和炭納米(mi)管()等

 

混氣真空管式爐係統是為了使化學反應能在較低的溫度下進行(xing),利用了等離子體的活性來促進反應,環境溫度在℃,但反應氣體在輝光(guang)放電等離子體中能受(shou)激(ji)分解(jie)、離解和離化,從而大大提高了反應物的活性,這些(xie)具有反應活性的中性物質很容易被吸附到(dao)較次溫度的基本(ben)表麵上(shang),發(fa)生非平(ping)衡的化學反應沉積生成薄膜,因(yin)此(ci)這種稱為等離子體增強化學氣相沉積法()。

 

多路混氣真空管式爐係統,由(you)單(dan)溫區管式爐、真空係統、質子流量計、射頻電源(yuan)係統係統組成。

 

真空管式爐係統可在片狀或(huo)類似形(xing)狀樣品表麵沉積、非(fei)晶矽、微晶矽、納米矽、、類金剛石等多種薄膜,並(bing)可沉積型、型摻雜薄膜。沉積的薄膜具有良好的均(jun)勻性、致密(mi)性、粘(zhan)附性、絕(jue)緣性。化學氣相沉積係統廣泛應用於刀具、高精模具、硬質塗層、高端裝飾(shi)等領(ling)域。

 

 

路質子混氣管式爐係統

爐管尺寸

直(zhi)徑

加熱區長度

更多規格可按照(zhao)客戶要求定製(zhi)

正(zheng)常工作溫度

最高工(gong)作溫度

加熱元件

摻鉬(mu)合金加熱絲

爐膛材質

采用日本進口爐膛材料(liao),不掉(diao)粉(fen)、材料保溫性能好、反射率高、溫場均衡,抗(kang)熱漲冷縮能力強

控溫方(fang)式

智能化段(duan)可編(bian)程控製(用戶可選配液晶觸(chu)摸屏顯示)

真空係統

高真空分子泵組,高真空複合真空計

前級泵升每秒,分子泵升每秒

采用係列波(bo)紋(wen)管和真空擋板閥連接

質子流量計

高精度質量流量計可準(zhun)確(que)的控(kong)製氣體流量

氣體流量範(fan)圍(wei)為SCCm誤差為

出氣真空壓力表(biao),內置氣體混氣係統,

不鏽(xiu)鋼(gang)針閥計管道,標準雙(shuang)卡(ka)套(tao)接頭

射頻電源係統

輸出(chu)功(gong)率

最大可調(diao)±

頻率

,穩定(ding)性±

噪聲

冷卻(que)

風冷

輸入功率

1KW  AC 220V

提供(gong)相關(guan)配件

氣煉石英(ying)爐管、真空法(fa)蘭、高溫手套、坩堝鉤、熱電偶、防(fang)燙(tang)罩、剛玉坩堝、爐塞

電氣認證

認(ren)證

售(shou)後(hou)服務(wu)

個(ge)月質保、終身保修

 


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